درجہ حرارت اور نمی کا خودکار کنٹرول
صاف کمرے کا درجہ حرارت اور نمی بنیادی طور پر عمل کی ضروریات کے مطابق طے کی جاتی ہے، لیکن اس شرط کے تحت کہ عمل کی ضروریات پوری ہوں، انسانی سکون کو مدنظر رکھا جائے۔ہوا کی صفائی کی ضروریات میں اضافے کے ساتھ، ایک رجحان ہے کہ اس عمل میں درجہ حرارت اور نمی کے حوالے سے زیادہ سے زیادہ سخت تقاضے ہوتے ہیں۔
جیسے جیسے مشینی درستگی بہتر سے بہتر ہوتی جا رہی ہے، درجہ حرارت کے اتار چڑھاؤ کی حد کے لیے تقاضے چھوٹے سے چھوٹے ہوتے جا رہے ہیں۔مثال کے طور پر، بڑے پیمانے پر انٹیگریٹڈ سرکٹ پروڈکشن کے لیتھوگرافی کی نمائش کے عمل میں، شیشے اور سلکان ویفر کے تھرمل ایکسپینشن گتانک کے درمیان ڈایافرام کے مواد کے طور پر چھوٹے اور چھوٹے ہونے کی ضرورت ہوتی ہے۔جب درجہ حرارت 1 ڈگری بڑھ جائے گا تو 100μm قطر کے ساتھ ایک سلکان ویفر 0.24μm کی لکیری توسیع کا سبب بنے گا۔لہذا، اس کا مستقل درجہ حرارت ±0.1 ڈگری ہونا چاہیے۔ایک ہی وقت میں، نمی کی قدر عام طور پر کم ہونے کی ضرورت ہوتی ہے، کیونکہ کسی شخص کے پسینہ آنے کے بعد، مصنوعات آلودہ ہو جائے گی، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر ورکشاپس کے لیے جو سوڈیم سے ڈرتے ہیں، اس قسم کی صاف ورکشاپ کا درجہ حرارت 25 ڈگری سے زیادہ نہیں ہونا چاہیے۔
زیادہ نمی زیادہ مسائل کا باعث بنتی ہے۔جب رشتہ دار نمی 55% سے زیادہ ہو جائے گی، تو کولنگ پانی کے پائپ کی دیوار پر گاڑھا ہونا شروع ہو جائے گا۔اگر یہ ایک درست آلہ یا سرکٹ میں ہوتا ہے، تو یہ مختلف حادثات کا سبب بنتا ہے۔جب رشتہ دار نمی 50% ہو تو اسے زنگ لگنا آسان ہے۔اس کے علاوہ، جب نمی بہت زیادہ ہوتی ہے، تو سلیکون ویفر کی سطح پر موجود دھول کیمیاوی طور پر ہوا میں موجود پانی کے مالیکیولز کے ذریعے سطح پر جذب ہو جاتی ہے، جسے ہٹانا مشکل ہوتا ہے۔رشتہ دار نمی جتنی زیادہ ہوگی، آسنجن کو ہٹانا اتنا ہی مشکل ہوگا، لیکن جب رشتہ دار نمی 30% سے کم ہو، تو الیکٹرو اسٹاٹک فورس کے عمل کی وجہ سے ذرات بھی آسانی سے سطح پر جذب ہو جاتے ہیں، اور سیمی کنڈکٹر کی ایک بڑی تعداد آلات خرابی کا شکار ہیں.سلکان ویفر کی پیداوار کے لیے بہترین درجہ حرارت کی حد 35 ~ 45٪ ہے۔
